Një profilometri është një instrument i saktë përdorur për matjen e lartë të topografisë mikroskopike të sipërfaqeve materiale (si si lartësia e hapit) T, e fortë, e tmerrshme dhe egër. Përdoret gjerësisht në prodhimin e gjysmë-duktorëve, kërkimet e shkencës së materialeve, MEMS dhe testimet optike. Funksioni i saj është të marrë të dhëna sasive në ndryshimet e lartësisë së sipërfaqes nëpërmjet kontaktit të vogël midis hetimit dhe sipërfaqes së mostrave, ofrimi i të dhënave kyçe për analizën e performancës materiale dhe optimizimin e procesit.
