2025-08-07

ZEPTOOLS Teknik Populärvetenskap - Introduktion till elektronstråle Litografi (EBL)

Elektronstrålelitografi (EBL) är en maskellös, direktskriva litografisk teknik som fungerar genom att direkt skriva nanoskala mönster på en elektronkänslig resistyta med hjälp av ett en Fokuserad elektronstråle.