En profilometer är ett precisionsinstrument som används för högprecisionsmätning av den mikroskopiska topografin på materialytor (såsom steghöjd) t. grovhet, planhet och warp. Det används i stor utsträckning i halvledare tillverkning, materialvetenskap forskning, MEMS (Microelectromechanical Systems) bearbetning, och optisk komponentprovning. Dess kärnfunktion är att få kvantitativa data om förändringar i ythöjd genom minutkontakt mellan sonden och provytan. tillhandahålla nyckeldata för materialprestandaanalyser och processoptimering.
