2025-08-06

หลักการทำงานของเครื่อง lithography ลำแสงอิเล็กตรอนคืออะไร?

การพิมพ์หินลำแสงอิเล็กตรอน (ebl) เป็นอุปกรณ์การผลิตไมโครนาโนตามการสัมผัสลำแสงอิเล็กตรอนหลักการหลักของมันคือการวาดรูปแบบนาโนบนความต้านทาน (เช่น PMMA, hsq) โดยใช้ลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูงสุดท้ายรูปแบบจะถูกถ่ายโอนไปยังวัสดุพื้นผิวผ่านกระบวนการต่างๆเช่นการพัฒนาและการแก้ไข