Profilometer เป็นเครื่องมือที่มีความแม่นยำที่ใช้สำหรับการวัดที่มีความแม่นยำสูงของภูมิประเทศด้วยกล้องจุลทรรศน์ของพื้นผิววัสดุ (เช่นความสูงของขั้นตอนความหยาบความเรียบและวิปริต) มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การวิจัยทางวิทยาศาสตร์วัสดุการประมวลผล MEMS (ระบบไฟฟ้าขนาดเล็ก) และการทดสอบส่วนประกอบแสงฟังก์ชั่นหลักของมันคือการได้รับข้อมูลเชิงปริมาณบนการเปลี่ยนแปลงความสูงของพื้นผิวผ่านการสัมผัสนาทีระหว่างหัววัดและพื้นผิวตัวอย่างให้ข้อมูลที่สำคัญสำหรับการวิเคราะห์ประสิทธิภาพของวัสดุและการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
