2025-08-06

Elektron beýli litografiýanyň prinsipi näme?

Elektron beýli lithography (EBL) mikro-nano ýüze çykyş aldaýy. Onuň esasy prinsipi rezden nano-sypaly patyşalary açmak (M.M. PMMA, HSQ ýaly) hasyl güýçli elektron beýini ulanyp. Ahyrky, substrat madylara ösdürilýär.