Ang maskless lithography ay isang advanced lithography equipment na hindi nangangailangan ng pisikal na mask. Gumagamit ito ng digital micromirror device (DMD) upang bumubuo ng mga lithographic patterns, pagbibigay ng flexible at epektibong proseso ng micro-scale struktura. Ang pangunahing function nito ay gumagamit ng kapangyarihan ng pag-modulasyon ng DMD upang direktang proyekto ang mga pattern na disenyo ng computer papunta sa substra. ibabaw. Ito ay alisin ang mga mahirap na hakbang ng paggawa ng mask at pag-aayos sa tradisyonal na lithography, malaki ang pagpapaikli ng siklo ng R&D at pagbabawas ng gastos sa produksyon.
