2025-08-07

Zeptools teknolojisi popüler bilim-elektron ışını litografisine giriş (ebl) teknolojisi

Elektron ışını litografisi (ebl), odaklanmış bir elektron ışını kullanarak elektron duyarlı direnç yüzeyine doğrudan nanoölçek desenleri yazarak çalışan bir maskless, doğrudan yazma litografik tekniktir.