2025-08-06

Bir elektron ışını litografi makinesinin çalışma prensibi nedir?

Elektron ışını litografisi (ebl), elektron ışını maruziyetine dayalı bir mikro-nano üretim cihazıdır. Temel prensibi, yüksek enerjili bir elektron ışını kullanarak bir direnç (pmma, hsq gibi) üzerinde nano ölçekli desenler çizmektir. Son olarak, desen geliştirme ve sabitleme gibi süreçler yoluyla alt tabaka malzemesine aktarılır.