Maskless litografi, fiziksel maske gerektirmeyen gelişmiş bir litografi ekipmanıdır. Esnek ve verimli mikro ölçekli yapı işlemlerini sağlayan, dinamik olarak litografik desenler oluşturmak için dijital bir micromirror cihazı (dmd) kullanır. Temel işlevi, dmd'nin mekansal ışık modülasyonu özelliğini doğrudan bilgisayar tarafından tasarlanan desenleri alt tabaka yüzeyine yansıtıyor. Bu, geleneksel litografide maske yapımı ve hizalamanın hantal adımlarını ortadan kaldırır, ar-ge döngüsünü önemli ölçüde kısaltır ve üretim maliyetlerini düşürür.
