Bir profilometre, malzeme yüzeylerinin mikroskobik topografyasının (adım yüksekliği, pürüzlülük, düzlük ve çözgü gibi) yüksek hassasiyetli ölçümü için kullanılan hassas bir cihazdır. Yarı iletken imalat, malzeme bilim araştırmaları, mems (mikroelektromekanik sistemler) işleme ve optik bileşen testlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Temel işlevi, prob ile örnek yüzey arasındaki dakika teması ile yüzey yüksekliği değişimlerinde kantitatif veri elde etmek, malzeme performans analizi ve süreç optimizasyonu için anahtar veri sağlamaktır.
