2025-08-06

Электронның литография машинасының эш принципы нинди?

Электронны литография (ЕБЛ) - микро-нанo чыгару ашкынычлыкка нигезләнгән. Аның төп принципы — nano-scal нәтиҗәләр ясарга (ММММ, HSQ кебек) югары энерги електронның күләмен кулланып. Ахыр чиктә, нәтиҗә нәтиҗәләргә китерелә, үсеш һәм урнаштыру кебек процеслар аша.