Electron sham lithographi makini ishga tushiriyi ne?
Elektron soam lithographi (EBL) mikro-nano oʻzgartirish uchun elektron chiziqibga tushiriyi. Hisobning oʻzgartirish O'qib bo'ldan o'zgani Aksoy, ushbu o'rlar va oʻzgartirish yordami substrat manziliga olib tashlangan qilinadi.