2025-08-06

Nguyên lý làm việc của máy in Laze điện tử là gì?

In thạch bản chùm điện tử (EBL) là một thiết bị chế tạo vi nano dựa trên tiếp xúc chùm tia điện tử. Nguyên Tắc cốt lõi của nó là vẽ các mô hình quy mô nano trên một sự chống lại (như PMMA, hsq) bằng cách sử dụng chùm điện tử năng lượng cao. Cuối cùng, mô hình được chuyển giao cho vật liệu nền thông qua các quy trình như phát triển và sửa chữa.