Máy đo tiền liệt là một dụng cụ chính xác được sử dụng để đo độ chính xác cao địa hình hiển vi của bề mặt vật liệu (như chiều cao bước, độ nhám, độ phẳng và độ cong). Nó được sử dụng rộng rãi trong sản xuất bán dẫn, nghiên cứu khoa học vật liệu, xử lý MEMS (Hệ thống cơ điện) và kiểm tra thành phần quang học. Chức năng cốt lõi của nó là thu thập dữ liệu định lượng về thay đổi chiều cao bề mặt thông qua tiếp xúc PHÚT giữa đầu dò và bề mặt mẫu, cung cấp dữ liệu quan trọng để phân tích hiệu suất vật liệu và tối ưu hóa quá trình.
