Electron beam lithography (EBL) jẹ́ olóòótọ́, ìmọ̀ ọ̀nà tó ń ṣiṣẹ́ ní tààràtà nípa ṣíṣe àwọn àpẹẹrẹ nanoscale sórí ojú omi tó ń dènà electron lílo a inú èròjà electron.