yo
12345
2025-08-06

Kí ni ìlànà tó ń ṣiṣẹ́ nínú ẹ̀jẹ̀ ẹ̀rọ tó ń ṣiṣẹ́?

Electron leam lithography (EBL) jẹ́ ohun èlò ìlànà ẹ̀rọ olóró-nano tó dá lórí ọ̀ràn èròjà electron. Ìlànà pàtàkì rẹ̀ ni fífọ àpẹẹrẹ nano-sàn sórí dènà (irí PMMA, HSQ) lílo èròjà elektòn gíga. Níkẹyìn, wọ́n máa ń gbé àpẹẹrẹ náà lọ sínú ìsọfúnni tí wọ́n ń ṣe nípasẹ̀ àwọn ọ̀nà bíi ìdàgbàsókè àti ṣíṣàtúnṣe.